|
NPS2100A形状扫描机（纳米级测定）
NPS2 100A为测针尖端直径只有几十纳米的表面粗糙度测量机，通过对工件表面进行扫描，可将表面的凹凸以纳米水平的分辨率进行三维显示。
测量部标准配备有自我检测型悬臂测针和了振装置，体积小可以在桌上使用，操作简单。
评价纳米物体的细微形状
可自如地对从次纳米到10微米的细微形状进行分析。
采用独自的自我检测型悬臂测针
悬臂测针本身备有检测挠曲量的传感器，安装、操作简便。由于没有使用用激光光学系，因此无需调节光轴，可以携带到各种场所进行测量
标准配备有防振装置
配备有螺旋弹簧和胶态吸振器融为一体的防振装置，在任何场所均可测量。
高速测量
可以进行每个画面为12秒~1800秒的高效率测量。此外，测量过程中可以对扫描形状进行监测。
NPS2100A的用途
半导体
对设备图案进行形状评价，对成膜粒子进行粗糙度评价
记录媒体
磁盘表面评价、化学晶体结构、格点的形状评价、磁带、磁头的表面评价
液晶显示器
液晶屏幕表面的评价、触摸屏间隔测量、ITO膜粒子的评价
水晶设备
水晶振动器、电极的表面粗糙度评价、SAW滤波器表面的膜厚、段差测量
陶瓷、玻璃
表面·截面的形状评价、镀层面的膜厚·段差测量、镜头·光纤的形状评价
电子设备
表面形状的评价、粗糙度·段差测量、镀层表面的评价、次品分析
高分子材料
聚乙烯膜表面处理评价、涂层加工纸表面评价、涂膜·涂层的膜厚·段差测量
机械加工
研削·研磨工艺的评价、磨耗面评价
规格
|
型号 |
NPS2100A |
|
测量范围 |
X轴·Y轴 |
最大800*800um |
|
Z轴 |
最大±10um |
|
分辨率 |
Z轴 |
0.3mm |
|
工件载台 |
移动量 |
X、Y、Z各10mm |
|
|
工件形状 |
最大Ø60mm、厚度8.5mm |
|
扫描速度 |
12秒~1800秒/画面 |
|
测量模式 |
接触模式、振动模式 |
|
评价功能 |
三维显示、等高线显示、等高线涂色显示、
等高线深浅显示、截面显示、山分布显示、
俯视图（隐线处理/半调涂色处理/指定视点方向）、
负荷曲线显示、振幅分布曲线显示、山高分布显示 |
|
标准配件 |
自我检测型悬臂测针（接触模式用：10根/箱、
振动模式用：10根/箱）悬臂测针镊子组件、
标准样品、光学显微镜组件、操作说明书 | | 
